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質量混配氣系統
關 鍵 詞:質量混配氣系統 混氣柜
型       號:HQ-Z
品       牌:上海鉅晶
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接受訂制:可按要求定制
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混配氣系統是由單路或多路質量流量計控制、混合連續供氣,實現了氣體的質量流量精密測量和控制;結合我司各種規格型號的管式爐、CVD系統及退火爐等對材料、氣體流量的精確測量和控制,應用性強;具有混氣均勻,控制精度高,數顯直觀,操作靈敏等優點。

主要功能和特點:

1、質量流量計、流量顯示儀分體式連接,便于操作及使用;

2、控制精度高,響應快,極低的零漂及溫漂,良好的兼容性;

3、系統配有混氣罐,可單路或多路配合進氣;

4、每條氣體管路均配有安全截止閥,確保系統的安全可靠;

5、流量控制器的規格型號可根據要求定制;

6、采用世偉洛克卡套接頭連接,保證良好的密封性;

7、整體式爐架結構,搭配性能強,可放置我司各種規格型號的管式爐等;

8、可通過軟件支持人機交互界面,操作簡單方便;

9、預留真空系統位置,可選不同真空系統,組合搭配方便快捷。

主要用途和適用范圍:

用于高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD/CVI實驗等精密氣體的流量控制。

注意:嚴禁氫氣和氧氣同時供氣,保證安全

技術參數:

產品型號

HQ-Z(通過歐盟CE認證,證書編號:4635230915/4636230915

爐體結構

雙層爐架結構,預留真空系統,組合性強

控制方式

質量流量計配合流量顯示儀

流量規格

0500SCCM/01SLM(可根據客戶需要配置)

線性

±0.2%F.S.

準確度

±1.5%F.S.

重復精度

±1.5%F.S.

響應時間

8sec

耐壓

3MPa

氣路通道

多通道(根據客戶需求)

混氣罐

SUS316不銹鋼,尺寸:Φ100*200mm

 

SUS316不銹鋼卡套針閥

管 道

Φ6mm無縫鋼管管

接 口

SwagelokΦ6mm

尺寸和重量

設備:530*1200*850mm (深**高);凈重   kg

標準配置

 主機1臺,說明書、合格證、保修卡各1


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